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基于微细加工技术的微谐振腔型滤波器

宋康; 李以贵; 陈水良 中国激光 2004年第06期

摘要:

关键词:激光技术硅模具微细加工技术微谐振腔滤波器

单位:上海交通大学微纳米技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室; 上海200030

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中国激光

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