首页 > 期刊 > 中国激光 > 基于微细加工技术的微谐振腔型滤波器 【正文】
摘要:
关键词:激光技术 硅模具 微细加工技术 微谐振腔滤波器
单位:上海交通大学微纳米技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室; 上海200030
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