摘要：像质校正灵敏矩阵是像质校正算法中由像质参数计算像质校正参数的过渡矩阵。矩阵中的元素表征了像质参数随像质校正参数变化的灵敏程度。像质校正灵敏矩阵是投影光刻机像质校正算法中重要的参数集合。提出了一种投影光刻机像质校正灵敏矩阵的原位测量方法，该方法利用人工神经网络（ANN）对像质参数和像质校正参数之间的依赖关系进行建模，通过网络自学习能力优化删络的连接权值使其逐渐逼近像质校正灵敏矩阵的数值，从而实现像质校正灵敏矩阵的测量。实验结果表明该方法可以高精度、有效地获得投影光刻机像质校正灵敏矩阵。

关键词：测量 人工神经网络 像质校正灵敏矩阵 投影光刻机 

单位：中国科学院上海光学精密机械研究所信息光学实验室; 上海201800; 中国科学院研究生院; 北京100039