摘要：正弦相位调制（SPM）干涉测量技术用于表面形貌测量时，需要帧速高于300frame／s的图像传感器，同时要求调制信号频率与图像传感器帧速成确定的整数倍关系。提出一种基于低速CCD（30frame／s）的帧速可调的高速图像传感技术，通过控制每帧像素总数提高CCD帧速，研制出一种高帧速图像传感器，帧速可达300～1600frame／s，且每帧大小连续可调。将该CCD传感器用于正弦相位调制干涉泰曼一格林干涉仪，测量镀膜玻璃板表面形貌，当CCD图像传感器的帧速与调制信号频率呈16，8，4倍的关系时，得到玻璃板表面形貌的轮廓平均算术偏差Ra小于1．8nm，重复精度优于3nm。

关键词：测量 干涉 正弦相位调制 低速ccd表面形貌检测 

单位：中国科学院上海光学精密机械研究所信息光学实验室; 上海201800; 中国科学院研究生院; 北京100039