摘要：利用具有相反热光特性的氮氧化硅（SiON）与聚合物材料，采用混合集成技术设计了一种低功耗全内反射（TIR）热光波导开关。该光开关通过在两交叉的氮氧化硅波导芯的X结中心部分制作一个深度等于波导芯厚度的狭缝，并在其中填充与波导包层相同的聚合物材料，同时在狭缝聚合物上方制作加热电极来实现开关功能。理论分析表明，通过选择与氮氧化硅折射率相匹配的聚合物材料，并优化设计单模光波导尺寸，两交叉波导间的夹角、所开狭缝的宽度以及相应的加热电极结构，对于1550nm的工作波长，开关的驱动功率在低至2．3mw时仍可实现消光比均大于36dB，串扰均小于-36dB的TE与TM模式。

关键词：光电子学 光开关 热光原理 氮氧化硅 全内反射 

单位：电子科技大学通信与信息工程学院 四川成都611731 电子科技大学机械电子工程学院 四川成都611731