摘要：为了实现二维小角度的测量,采用压电陶瓷（PZT）驱动方式,获取运动的干涉条纹。利用数值积分法推导了理想干涉条纹下,条纹宽度、条纹方向角与光电探测器各象限信号相位的关系,解出了各象限相位等效点,并建立了激光光束夹角与条纹形状之间的模型。应用椭圆最小二乘拟合算法,实现了四象限探测器相位信息的有效提取,达到识别条纹宽度和方向角的目的。二维偏转角的测量实验结果表明,该方法能够满足对工作台角度偏转量等精密测量的要求,即使是在干涉条纹形状不规则、工作台运动频率不严格一致的环境下,对条纹形状的识别精度也很高,重复性好。

关键词：测量 四象限光电探测器 条纹形状识别 数值积分 最小二乘椭圆拟合 

单位：湖北工业大学机械工程学院 湖北武汉430068 湖北省现代制造质量工程重点实验室 湖北武汉430068