摘要：提出了一种模拟准分子激光光能量分布的方法。通过使用Matlab软件分析实际拍摄到的准分子激光光能量分布彩色图像并提取相关信息进行计算，使用光学软件Zemax模拟出实际的准分子激光的光能量分布。实际准分子光源光斑的尺寸约为16.5 mm×35.4 mm，光束在x方向的发散角度约为3.3 mrad，在y方向的发散角度约为11.5 mrad。使用该方法所模拟的光源的光斑尺寸约为16.7 mm×35.3 mm，光束在x方向的发散角度约为3.41 mrad，在y方向的发散角度约为11.53 mrad，光能量分布在细节上与实际光源保持一致。该方法解决了准分子激光光能量空间分布较为复杂难以进行光学模拟的问题，同时也为准分子激光的光学特性研究以及应用于准分子激光光学元件的研发提供了技术基础。

关键词：激光光学 准分子激光 能量分布建模 zemax软件 

单位：北京工业大学激光工程研究院 北京100124