摘要：太赫兹时域光谱（THz-TDS）技术因具有动态范围大、灵敏度和信噪比高等优点在气体检测领域中日益受到重视，然而检测系统内水对太赫兹波的强烈吸收会对气体解调结果产生严重影响。在常温常压、检测系统内有水气存在的情况下利用THz-TDS技术对不同浓度的氨气进行定量检测，并提出一种比例法浓度解调方法降低了水气对氨气浓度解调的影响。为了验证提出算法的有效性，与直接差分法和湿度补偿法两种浓度解调方法进行了比较。结果表明,当氨气与太赫兹波的作用光程为96 mm时，利用比例法可以使气体检测灵敏度提高为33.0 mg/m3，浓度反演误差控制在48.2 mg/m3以内，相比直接差分法和湿度补偿法浓度反演误差降低达84.6%和77.4%。

关键词：传感器 气体定量检测 比例法浓度解调 太赫兹时域光谱技术 氨气 

单位：天津大学精密仪器与光电子工程学院光电信息技术教育部重点实验室 天津300072