摘要：相移误差在很大程度上影响着相移数字显微全息的测量精度。相移误差可大致分为数值误差和不均匀误差两类。相移器的标定错误和环境震动都能产生不可忽略的数值误差，因此自定标相移数字全息是值得探究的。提出了一种基于载频条纹分析方法的自定标相移数字全息显微术。利用傅里叶条纹解调分析方法，分别提取四幅全息图的载频条纹相位。通过对比载频条纹相位获得全息图间的相移量。实验装置设计的不合理导致了不均匀误差。提出一种基于改进型Linik干涉仪的相移数字全息显微装置。实验结果证明了自定标算法和改进型的Linik干涉仪具有更好的重建结果。

关键词：全息 数字全息 全息干涉仪 相位测量 干涉显微镜 

单位：暨南大学光电工程系 广东广州510632 光电信息传感技术广东省普通高校重点实验室 广东广州510632