摘要：高性能偏振选择型光探测器是偏振检测系统中不可或缺的一部分。提出了一种由硅基谐振波导光栅和InP／InGaAsPIN光探测器混合集成的光探测器结构。利用严格耦合波分析方法设计了硅基谐振波导光栅结构，利用时域有限差分法优化了该混合集成光探测器的结构参数。数值仿真结果表明该光探测器在宽带范围内具有高量子效率、较大入射角容差及偏振选择性。该器件可以应用于偏振敏感系统中。

关键词：光学器件 偏振选择 广角 谐振波导光栅 光探测器 

单位：北京邮电大学信息光子学与光通信研究院信息光子学与光通信国家重点实验室 北京100876