摘要：间隙光纤光栅（g-FBG）兼具菲索干涉和相移光纤光栅（PSFBG）的特征,仿真研究和分析了g-FBG反射谱中菲索干涉谱型和相移光纤光栅谱型对微间隙和温度的敏感特性,提出了一种同时测量微间隙和温度的方法,并建立了测量模型。搭建g-FBG实验系统,测试了不同间隙下的反射谱,验证了仿真结果,数据分析表明微间隙测量误差小于±5nm;制作g-FBG传感头,实现了位移和温度的同时测量,温度灵敏度为8.3pm/℃,测量精度可达0.1℃。基于g-FBG的微间隙与温度同时测量技术具有精度高、体积小和设计灵活等优点。通过建立微间隙与温度的关联方程,可补偿由于温度变化对间隙测量的影响,实现温度无关的微间隙测量。

关键词：光纤光学 微间隙传感器 温度传感器 菲索干涉 相移光纤光栅 

单位：北京航空航天大学精密光机电一体化技术教育部重点实验室 北京100191 北京航空航天大学惯性技术国防科技重点实验室 北京100191