摘要：对利用电荷耦合器件（CCD）测量高能激光系统近远场能量分布时,CCD光电响应非线性特性对光束质量评价的影响进行分析计算。提出了一种基于单缝衍射的CCD光电响应标定方法,完成对某CCD的标定工作。利用该标定结果分别对理论模拟及实际系统下的近远场能量分布进行灰度修复,考察灰度修复对近场填充因子（FF）及远场环围能量分布的影响。对实际光束的修复结果表明,经过灰度修复的近场填充因子会提高1%--2%,对远场评价基本无影响。

关键词：激光器 光束质量 电荷耦合器件 单缝衍射 非线性特性 

单位：中国科学院上海光学精密机械研究所高功率激光物理联合实验室 上海201800