摘要：激光通信作为一种通信手段,以其抗干扰能力强、保密性好、功率集中等优点,在军事和民用等领域得到广泛应用。为满足激光通信系统使用要求,提高信噪比,对系统中的滤光膜进行研制。选用Ti3O5和Si O2作为镀膜材料,依据倍频设计和双波长增透原理完成了三带通、宽反射带滤光膜的设计。通过膜厚缩放比例和逆向工程方法分析膜厚累积误差,重点解决了膜厚监控误差大的问题。制备的滤光膜在532 nm和1064 nm处透射率大于90%,808 nm处透射率大于85%,（1550±20）nm处透射率小于0.4%,满足该系统环境测试要求。

关键词：薄膜 滤光膜 倍频设计 双波长增透 逆向工程 

单位：长春理工大学光电工程学院 吉林长春130022 华南师范大学光电子材料与技术研究所 广东广州510631