摘要：针对提高反射相位延迟测量速度和精度的应用需求,研发了一种以起偏器-棱镜-检偏器（PPA）为光路结构的测量系统,基于最小二乘法,给出了无需知道初始检偏角可对所采集的光强分布点进行二元线性拟合的方法,进而提出了对不同起偏角情况下所采集的两组光强分布点进行多次拟合、逼近求交得到反射相位延迟量的方法。该方法在反射相位延迟的测量过程中,无需精确设置光学元件的方位角,可利用软件系统完成光强分布点的采集及其计算机数值计算处理,所有的测量操作可控制在15 s内完成,实验结果表明：反射相位延迟测量结果的误差为0.005 rad,重复性为0.0016 rad。

关键词：测量 反射相位延迟 最小二乘法 光强分布 拟合 

单位：江苏大学理学院 江苏镇江212013 江苏大学机械工程学院 江苏镇江212013