摘要：三坐标测量机（CMM）是坐标测量技术中高效率的精密测量系统,随着超精密加工技术的发展,对三坐标测量机测量精度的要求越来越高。考虑到三坐标测量机在测量过程中的弱刚体性状态,提出了一种基于激光追踪仪多站位测量的三坐标测量机空域坐标修正方法。首先建立激光追踪仪多站位测量系统,然后利用激光追踪仪的高精度干涉测长值对被测空域内的三坐标测量机待测点坐标进行修正,最后利用三线性插值方法对三坐标测量机的被测空域坐标进行修正。仿真实验结果表明利用所提出的空域坐标修正方法得到的标准球直径标准差均值为0.098μm,小于三坐标测量机直接测量得到的标准差均值0.118μm,验证了所提出的方法可以有效提高三坐标测量机空域坐标精度。

关键词：测量 三坐标测量机 激光追踪仪 多站位测量 坐标修正 

单位：北京工业大学北京市精密测控技术与仪器工程技术研究中心; 北京100124; 北京卫星环境工程研究所; 北京100029