摘要：为实现调谐范围宽、调谐速度快、带宽窄、驱动电压低以及可批量化生产的可调光学滤波器，提出了一种新型微机电系统（MEMS）可调光学滤波器。由高反射率可动光学镜面与准直扩束光纤端面组成法布里-珀罗（F-P）腔。通过静电驱动改变F-P腔的腔长以调整滤波器的输出光波长，分析了可调光学滤波器的波长调谐原理和静电驱动原理，给出了器件的结构参数和综合设计考虑。利用体硅加工工艺成功制作了可调光学滤波器样品，并进行了实验测试。实验结果表明，通过改变准直扩束光纤的初始位置，3dB带宽与自由谱域之间具有可调性。该可调光学滤波器兼备了MEMS技术与光纤技术的优点，并且结构紧凑、工艺简单、驱动电压低，可用于光通信等场合。

关键词：光纤光学 微机电系统 可调光滤波器 静电驱动 

单位：上海大学理学院; 上海200000; 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室; 上海200000