摘要：在蓝宝石衬底上制备了具有不同铝（Al）掺杂浓度的掺铝氧化锌（AZO）薄膜,并对其进行了紫外-可见吸收光谱、霍尔效应、折射率及介电常数测试,研究了Al组分对AZO薄膜的光电、表面等离子体性质的影响。随着Al组分浓度的逐渐增大,AZO薄膜吸收边发生蓝移且吸收强度逐渐减小,光学损耗减小;同时,载流子浓度与迁移率先增大后减小,而电学损耗先减小后增大。

关键词：薄膜 表面等离子体 掺铝氧化锌 光学带隙 光学损耗 

单位：长春理工大学高功率半导体激光国家重点实验室; 吉林长春130022