摘要：研制了1550nm波段的窄线宽、低噪声混合集成外腔半导体激光器,将保偏光纤布拉格光栅（FBG）作为反馈元件与半导体增益芯片进行耦合,并利用FBG斜边处的大群时延特性将半导体激光器的线宽压窄。所得到的蝶形封装激光器原型器件实现了稳定的单纵模、单偏振激光的保偏输出,在1kHz处积分线宽为15.9kHz的输出功率≥30mW,洛伦兹线宽为4.85kHz,本征线宽为4.06kHz,相对强度噪声≤-155dB·Hz^-1@1 MHz,偏振消光比〉25dB,无跳模电流调谐范围≥8 GHz,无跳模温度调谐范围≥14 GHz,6h功率稳定度为1.7%,频率漂移量〈50 MHz。

关键词：激光器 外腔半导体激光器 窄线宽 保偏光纤布拉格光栅 蝶形封装 

单位：中国科学院上海光学精密机械研究所上海市全固态激光器与应用技术重点实验室; 上海201800; 中国科学院大学; 北京100049