摘要：研究了自适应补偿器（ANC）中两大补偿器——可变形镜（DM）和部分补偿镜之间的轴向距离标定技术,提出了一种多零位约束方法,利用一块校准镜,通过DM形变实现不同位置的零位检测,从而构建多个测量方程用以限制误差耦合,实现ANC空间间距自标定。通过仿真和实验验证了该标定方法的高精度。该方法摒弃了外部直接测量手段,使得ANC和整体干涉仪的集成化成为可能。

关键词：测量 自由曲面检测 自适应干涉仪 自适应零位补偿器 间距标定 

单位：安徽大学光电信息获取与控制教育部重点实验室; 安徽合肥230601; 中国工程物理研究院激光聚变研究中心; 四川绵阳621900