摘要：基于严格耦合波分析,研究凸面闪耀光栅的衍射特性;采用全息光刻-离子束刻蚀法制作中心周期为2.45pm、曲率半径为51.64mm、口径为17mm的凸面闪耀光栅,闪耀角为6.4°,顶角为141°。结果表明,在整个可见-近红外波段,所制作光栅的1级衍射效率大于40%,在闪耀波长处1级衍射效率大于75%。

关键词：光栅 凸面闪耀光栅 全息光刻 离子束刻蚀 衍射效率 

单位：苏州大学光电科学与工程学院; 苏州纳米科技协同创新中心; 江苏苏州215006; 苏州大学江苏省先进光学制造技术重点实验室; 江苏苏州215006; 苏州大学教育部现代光学技术重点实验室; 江苏苏州215006