摘要：论述了尺寸效应的内涵及其对微电子机械系统(MEMS)基础理论研究的重要影响;提出了广义尺寸效应、狭义尺寸效应,正效应、负效应及其判据;建立了狭义尺寸效应的分析模型,从尺寸泛函的绝对值、相对值和对尺寸的灵敏度三个方面进行泛函分析.将该模型应用到两端固支多晶硅微梁的弯曲测试,分析结果与实验相符.

关键词：微电子机械系统 尺寸效应 泛函分析 分析模型 

单位：西安理工大学机械与精密仪器学院; 西安; 710048; 郑州航空工业管理学院工业工程系; 郑州; 450052; 西安理工大学机械与精密仪器学院; 西安; 710048