摘要：介绍了微型制件及微型模具成形特点,全面分析了各种微细加工方法的技术特点及其在微型模具制造中的应用状况,同时分析了各种微细加工技术的适用范围与发展前景,并重点阐述了以LIGA技术为代表的光加工技术在未来微型模具制造技术发展中的重要作用.

关键词：微型制件 微细加工 liga技术 微型模具制造 

单位：大连理工大学，大连，116024