摘要：与相同几何尺寸的其他支撑形式相比,之字型支撑梁降低了硅微谐振器的谐振频率.通过对之字型支撑梁硅微谐振器的力学建模分析,发现其为5次超静定问题,在此基础上得出了谐振频率等重要的性能参数随几何参数的变化关系.分析结果表明,在保证支撑梁垂直长度不变的条件下,对固定的折弯次数n,谐振频率fx随折弯角度φ的增大而增大;对固定的折弯角度φ,谐振频率fx随折弯次数n的增大而趋于一个固定值;φ=90°时则等效于双侧直脚型微谐振器.

关键词：mems 硅微谐振器 之字型 力学建模 

单位：上海大学; 上海; 200072