摘要：提出一种新型的五自由度精密定位平台的工作原理及其设计方法.工作台采用柔性导向机构实现平移及转动功能,采用压电陶瓷作为驱动元件,外置纳米级电容传感器作为位移量测量反馈元件,采用数字PID控制方法,可以实现纳米级精度的定位.给出了多种形式柔性导向机构刚度计算公式及设计实例.

关键词：精密定位 柔性机构 五自由度 

单位：中国科学院上海光学精密机械研究所; 上海; 201800