摘要：以具有大进给力的纳米级驱动部件为被控对象,在分析不同模态过渡过程的基础上,指出极点差异是导致多模态难以实现平稳切换的关键因素之一.采用状态反馈矩阵和增益补偿环节来改造被控对象,采用零极点相消方法建立广义的一阶模型,解决了多模态的平稳过渡问题.应用提出的多模态平稳过渡策略,对具有大进给力的纳米级驱动部件进行控制,在5kN的大进给力下,进给精度达到了10nm,模态过渡调整时间小于1min,充分证明了该方法的实用性和可行性.

关键词：增益补偿 多模态切换 纳米控制精度 平稳过渡 状态反馈 

单位：浙江大学; 杭州310027