摘要：针对压电陶瓷的迟滞特性可使微夹钳难以获得良好的位移控制的问题，提出自适应逆控制策略。推导了压电悬臂位移特性的理论模型；采用自适应最小均方算法滤波器建立了压电悬臂的基于Backlash算子的迟滞环正逆模型，并以此为基础建立了微夹钳位移的自适应逆控制系统。样机测试和跟踪实验结果验证了所建立的理论模型和迟滞环模型的正确性，以及控制系统良好的自学习能力和控制效果。

关键词：压电微夹钳 迟滞环 backlash算子 自适应逆控制 

单位：湖南科技大学; 湘潭411201; 武汉理工大学; 武汉430070