摘要：基于电化学原理，讨论了纳秒脉冲电流微细电解线切割加工的机理，建立了微细电解线切割加工数学模型；采用电化学腐蚀原理对微米尺度线电极进行在线制作，建立了微细电解线切割加工试验系统，并进行了微细电解线切割加工试验，切割出带90°直角的微结构，其切缝宽度为30μm。

关键词：微细电解线切割加工 纳秒脉冲 线电极 电化学腐蚀 

单位：南京航空航天大学; 南京210016