摘要：建立了静电硅微多折叠梁谐振器的横向振动模型，得到了多折叠梁的变形方程和该类谐振器谐振频率的解析表达式。用标准体硅微工艺设计加工出两类共4种该类谐振器，通过试验测定其谐振频率，并用ANSYS软件进行了模态分析。结果表明，该类谐振器谐振频率的理论计算值和ANSYS模拟值与实测值间的相对误差均小于2％，验证了该理论模型的正确性。采用多折叠梁谐振器可以实现低频下大振幅的电能-微机械能的转换。

关键词：微型机电系统 静电硅微多折叠梁谐振器 横向振动模型 试验研究 谐振频率 

单位：郑州大学 郑州450001 上海大学 上海200072