摘要：在对电磁驱动微器件进行分类的基础上,详细分析了磁动势控制模型中不同类型电磁微器件的失稳特性。结果表明：竖直式和端点作用的旋转式电磁驱动微器件的失稳发生在系统气隙磁阻减小1/3的时候;旋面作用的旋转式电磁驱动微器件中,失稳角度（临界吸合角度）随磁力作用区域增大而增大,约介于系统最大旋转角度的33%-44%之间,励磁电流随磁力作用的悬臂区域的增大而先增大再减小。

关键词：mems 电磁驱动微器件 失稳特性 磁动势控制 

单位：西安电子科技大学 西安710071