摘要：提出了结合磁流变光整加工（MRF）与在线电解修整（ELID）磨削对各种光学材料进行超精密加工的方法，即采用ELID磨削进行预抛光以获得高质量表面，然后采用MRF进行精密抛光以进一步减小表面粗糙度和形状误差。利用该组合工艺对BK7玻璃、硅晶玻璃、碳化硅等光学材料进行了超精密加工实验，可以在短时间内使光学材料工件表面得到亚纳米级的表面粗糙度和峰谷值为λ／20（λ为单位波长，λ=632．8nm）的形状精度。

关键词：elid磨削 超精密组合加工 形状精度 表面粗糙度 光学材料 

单位：湖南大学国家高效磨削工程技术研究中心 湖南长沙410082 日本理化学研究所 日本东京 日本秋田县立大学 日本秋田