摘要：在微流控芯片的制作中,键合是关键技术之一,基片与盖片只有通过键合才能形成封闭的微通道,因此键合质量直接影响芯片的制作质量。对键合方法进行了分类,综述了目前已有的芯片键合技术及方法,分析了各种键合方法在制作质量、制作效率以及是否适用于批量化制作等方面的局限性,详细介绍了具有效率高、适合批量化生产等优点的超声波键合技术的研究进展。

关键词：聚合物微流控芯片 微流控芯片的键合技术 微流控芯片的制作工艺 生化mems器件 

单位：大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室 大连116024