摘要：为实现压电工作台快速准确动态定位，建立了其动态定位模型并设计了控制器。通过理论分析提出了能够同时体现压电工作台动态特性和迟滞特性的动态迟滞模型结构方程，并研究了其参数辨识途径，进而给出了采用Prandtl—Ishlinskii（PI）迟滞算子的动态迟滞模型，基于该模型设计了逆模型开环控制器。以扫描电化学显微镜的三维压电工作台为实验对象，阐述了动态迟滞模型的具体建模过程，同时对其开环控制器进行了硬件在回路仿真研究。快速动态定位实验表明，动态迟滞模型的平均误差为0．11μm，逆模型开环控制平均跟踪误差为0．12gm，基本满足压电工作台快速准确动态定位的要求。

关键词：压电工作台 动态定位 动态迟滞模型 pi迟滞模型 

单位：山东大学 济南250061 泰山学院 泰安271021