摘要：提出微型光热驱动机构（PTMA）及其显微运动测量的新方法，设计与微加工制作一种长度为1．5mm的非对称型PTMA，并开展光热驱动的实验研究。利用该测量方法，在波长为650nm、功率为9mW的半导体激光控制下，对PTMA的振幅与频率等显微运动特性进行测量和分析，测得最大振幅为10．3μm，理想响应频率范围为0～7Hz，并绘制出其运动轨迹。研究结果表明，这类新型PTMA可在激光操控下产生不同振幅（位移）、不同频率（速度）的微运动，为机电系统提供了一种新的微驱动方法。

关键词：微型光热驱动机构 显微运动测量 微驱动 mems 

单位：浙江大学现代光学仪器国家重点实验室 杭州310027