摘要：针对微小内尺度的精密测量问题介绍了非接触式、补偿式与瞄准触发式等几种测量新技术。分析了每一种测量技术的测量机理，通过对其结构设计分析得出该技术适用的测量范围，并对其测量性能进行了讨论；重点分析了瞄准触发式测量技术，并对其性能进行了比较。最后对微小内尺度的精密测量发展方向进行了总结。

关键词：微小内尺度测量 非接触式测量 补偿式测量 瞄准触发测量 

单位：哈尔滨工业大学 哈尔滨150001