摘要：针对光刻机工作台精密同步运动的需求，提出了一种适用于多轴精密同步运动控制的并行计算架构。介绍了运动控制系统的层次结构，自行定义内部总线协议，实现7块控制板卡间高性能数据传输，具有稳定的高带宽和纳秒级的传输延迟误差；根据工作台同步运动特征，设计并行计算周期规划和同步机制，实现分布式运行的多轴运动控制算法的严格同步。实验结果证明了并行计算架构的有效性。

关键词：并行计算架构 精密 运动控制 同步 

单位：华中科技大学数字制造与装备国家重点实验室 武汉430074 武汉理工大学 武汉430070