摘要：针对微电极制作的效率问题，提出了一种快速在线微电极加工成形的方法，设计了一种新型卧式微电火花机床。该机床由金刚石砂轮超精密在线电极磨削、线电极电火花在线电极磨削共同完成微米级电极的高效精密制作，该机床组成部分还包括基于CCD的在线光学尺寸检测与测量系统、精密运动与进给系统、纳秒级独立式脉冲放电电源与放电状态检测反馈系统组成。在该机床上进行了微电极制作、微小孔加工以及微电火花铣削等实验，加工出Ф15um微细轴和Ф50um微小孔。

关键词：微电极制作 放电加工 微电火花 线电火花磨削 

单位：华中科技大学; 武汉430074