摘要：对单晶硅电火花加工过程中的电流爬坡式上升现象进行了研究，结果表明，爬坡式电流主要是由加工过程中接触电阻的变化引起的，而接触电阻主要由高温区的接触面积决定。对爬坡式电流曲线的性质进行了研究，分析了温度、热导率和相变能量对接触电阻和放电电流变化的影响。最后，研究了电参数对加工效率的影响，结果表明采用大脉宽、高电压和小占空比能够大大提高加工效率。

关键词：半导体 电火花 爬坡电流 接触电阻 

单位：南京航空航天大学; 南京210016