摘要：随着微纳米测量系统中测头微探球尺寸的不断减小和测量不确定度要求的不断提高，测力所引起的力变形误差对测量系统不确定度有着不可忽略的影响。根据Hertz理论，构建了微探球与工件接触时的接触模型、微探球与试样力变形模型，给出了最大允许测力估计方法和力变形计算方法。以现有的3种微纳米三坐标测量机微探球为参考，分别估计了允许最大测力及引起的力变形。结果表明，对于纳米量级测量不确定要求，接触式测量中微探球的受力变形误差是不可忽略的。

关键词：微探球 力变形 微纳米测量 接触测量 

单位：合肥工业大学; 合肥230009