摘要：阐述了2D数字阀的结构和工作原理，分析了2D数字阀死区产生的原因，针对传统的颤振补偿死区方法的不足，提出流量规划补偿死区的新方法，并研究了流量规划同时叠加少量颤振补偿技术。实验结果表明，采用流量规划补偿后，死区基本消失，但滞环依然存在；采用流量规划同时叠加少量颤振补偿技术进行补偿，可以完全消除死区，滞环也明显减小，非线性度小于0．5％，能够达到伺服系统的要求。在死区补偿之后，该阀在25％满量程的正弦波控制下，-3dB处幅频宽可达141Hz。

关键词：2d数字阀 流量规划 颤振 死区补偿 

单位：浙江工业大学特种装备制造与先进加工技术教育部重点实验室; 杭州310014