摘要：提出一种适用于金刚石等超硬材料生产过程压机保压阶段的电动直驱式超高压力控制方式。该方式可实现精确的压力补偿，为人造金刚石晶体生长提供高精度的平稳压力，提高金刚石的品质等级。介绍了电动直驱式超高压力控制系统的工作原理，建立了相应的伺服动力机构的数学模型，并对动力机构的主要参数和系统开环频率特性进行了分析，指出了液压缸有效面积、压力腔有效体积以及负载弹性刚度等主要参数对系统特性影响的变化趋势。

关键词：超高压 电动直驱 压力控制 动力机构 

单位：中国计量大学机械工程学院; 杭州310018