摘要：提出了一种表面结构多尺度融合测量系统,该系统将显微图像测量、垂直扫描白光干涉测量、白光干涉纳米探针测量和白光干涉金刚石探针测量等多种不同尺度的表面结构测量方法融合在一起。实验结果表明,显微图像测量对300μm标准玻璃线纹尺的示值误差为-0.251μm,标准偏差为0.4013μm;白光干涉测量对1.26μm和3.33μm单刻线样板的测量平均值分别为1.263μm和3.328μm,示值误差分别为0.003μm和-0.002μm,示值相对变化量为1.27%和0.63%;白光干涉纳米探针对高度为(106.8±1.0)nm的校准光栅测量平均值为103.1 nm,相对示值误差为-3.5%;白光干涉金刚石探针测量对Ra=4.08μm样板的测量值为4.05μm,测得值的相对误差为0.74%。所提出的测量系统满足表面结构的多尺度融合测量要求。

关键词：表面结构 多尺度 融合测量 纳米探针 

单位：湖北汽车工业学院机械工程学院; 十堰442002; 华中科技大学机械科学与工程学院; 武汉430074