摘要：S-4800是目前场发射扫描电子显微镜中的高端产品，其独特的电子光学设计使得该仪器在获得二次电子（SE）图像的同时，还能在图像中掺入不同比例的背散射（BSE）信号，以获得二次电子和背散射（SE＋BSE）的复合图像，背散射信号的加入，既能减轻图像的荷电效应，又能增加图像的成分信息，对分析导电性差的样品，以及不同相的样品提供了方便。

关键词：bse 减轻荷电 成分衬度 

单位：北京师范大学; 北京100875