摘要：在扫描电镜非导电或导电性差的样品制备过程中，通常使用等离子溅射镀膜方法对样品表面进行导电处理。本文主要叙述等离子溅射镀膜的原理与方法，并简单介绍了磁控管溅射仪和锇等离子镀膜仪等。

关键词：扫描电镜 非导电样品 等离子溅射镀膜 磁控管溅射仪 锇等离子镀膜仪 

单位：北京师范大学; 北京100875