基于多孔介质理论的腔室流场分析

摘要：文章对半导体设备中腔室内的供风结构进行研究,采用数值分析的方法,对供风结构进行流场分析,根据分析的结果对结构进行优化,以达到理想的出风一致性效果。对测试和验证给予定性分析和指导,节约修改结构和复杂测试所消耗的时间和成本,缩短设计周期。

关键词：高效空气过滤器 气流分布一致性 多孔介质 数值模拟 供风结构 

单位：沈阳芯源微电子设备有限公司; 辽宁沈阳110168