《真空科学与技术学报》杂志论文投稿要求：
Ⅰ、您的稿件除正文外还应包含如下内容：邮编、详细通联地址、联系电话、电子邮箱、作者简介。
Ⅱ、基金项目：项目名称、项目号。
Ⅲ、以最恰当、简明的词句反映论文、报告中的最重要的特定内容，题名应避免使用不常见的缩略语、首字母缩写词、字符、代号和公式等。一般字数不超过25字。
Ⅳ、参考文献按在正文中出现的先后次序列于文后，其著录格式依据GB/T7714—2015《信息与文献参考文献著录规范》执行。
Ⅴ、论著应附中、英文摘要。中文摘要不超过400字，英文摘要与中文摘要相对应。摘要采用第三人称撰写，必须包括目的、方法、结果和结论四部分。
杂志发文主题分析如下：
| 机构名称 | 发文量 | 主要研究主题 |
| 中国科学院 | 163 | 溅射；磁控；光学；磁控溅射；纳米 |
| 合肥工业大学 | 158 | 真空泵；真空；螺杆真空泵；纳米；... |
| 东北大学 | 140 | 溅射；抽气；磁控；磁控溅射；真空... |
| 中国科学院电子学研究... | 139 | 行波管；速调管；螺旋线；慢波；注... |
| 清华大学 | 118 | 溅射；磁控；磁控溅射；离子束；太... |
| 大连理工大学 | 118 | 等离子体；溅射；合金；磁控；磁控... |
| 西安交通大学 | 111 | 显示器；等离子体显示；等离子体显... |
| 昆明理工大学 | 107 | 真空蒸馏；真空；碳热还原；热还原... |
| 浙江大学 | 106 | 磁控；磁控溅射；溅射；化学气相；... |
| 兰州空间技术物理研究... | 99 | 推力；推力器；光学；航天；月球 |
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