《真空科学与技术学报》杂志社地址：北京市海淀区中关村南三街8号A楼2段306室。
杂志社邮编：100190。
《真空科学与技术学报》杂志于1981年创刊，国际刊号：1672-7126，国内刊号：11-5177/TB，现如今被北大期刊(中国人文社会科学期刊)、CSCD 中国科学引文数据库来源期刊(含扩展版)、统计源期刊(中国科技论文优秀期刊)、知网收录(中)、维普收录(中)、万方收录(中)、CA 化学文摘(美)、JST 日本科学技术振兴机构数据库(日)、国家图书馆馆藏、上海图书馆馆藏等收录，是一本工业类北大期刊、CSCD期刊、统计源期刊，刊期为月刊，影响因子为0.43。
杂志所获的荣誉有：中国优秀期刊遴选数据库、中国期刊全文数据库（CJFD）、中国学术期刊（光盘版）全文收录期刊、中国科技期刊优秀期刊、北大图书馆收录期刊等。
杂志主要发文方向有：综述评述、研究快报、研究论文等。
杂志主要发文主题有哪些？
| 机构名称 | 发文量 | 主要研究主题 |
| 中国科学院 | 163 | 溅射；磁控；光学；磁控溅射；纳米 |
| 合肥工业大学 | 158 | 真空泵；真空；螺杆真空泵；纳米；... |
| 东北大学 | 140 | 溅射；抽气；磁控；磁控溅射；真空... |
| 中国科学院电子学研究... | 139 | 行波管；速调管；螺旋线；慢波；注... |
| 清华大学 | 118 | 溅射；磁控；磁控溅射；离子束；太... |
| 大连理工大学 | 118 | 等离子体；溅射；合金；磁控；磁控... |
| 西安交通大学 | 111 | 显示器；等离子体显示；等离子体显... |
| 昆明理工大学 | 107 | 真空蒸馏；真空；碳热还原；热还原... |
| 浙江大学 | 106 | 磁控；磁控溅射；溅射；化学气相；... |
| 兰州空间技术物理研究... | 99 | 推力；推力器；光学；航天；月球 |
