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基于金属层电阻温度系数可靠性研究

郜晋荣 安徽电子信息职业技术学院学报 2011年第03期

摘要:随着电子技术的日新月异,金属互连层在产品的可靠性方面扮演着越来越重要的角色,因此,需要对金属层进行快速的在线监测。本文对电阻温度系数研究及其在可靠性早期监测中的应用进行了研究和探讨。

关键词:电阻温度系数可靠性早期监测电迁移

单位:双环电子集团贝迪斯公司 安徽蚌埠233000

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