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基于电流密度在线监控的电镀工艺过程控制系统

杜贵平 李雄涛 姜立军 表面技术 2010年第01期

摘要:针对电镀过程中由人为因素所引起的能耗问题,为提高镀件质量,节能降耗,研制了一种以高频开关电镀电源为核心的基于电流密度在线监控的电镀工艺过程控制系统。该系统由上位机、电流密度采集系统和数字化电镀电源装置组成,实现了电流密度的在线检测与控制。镀层变化和系统能耗实验表明:该系统实现了电镀工艺工程能量的合理配置,在额定输出范围内具有较低的单位能耗和较高的效率,工艺质量优良,对不同规格的电镀工件具有广泛的适应性。

关键词:电流密度在线监控单位能耗

单位:华南理工大学 广州510640 广州电器科学研究院 广州510300

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