摘要：简述了化学机械抛光液的主要成分及其作用;综述了近年来国内外化学机械抛光液的发展现状,主要介绍了二氧化硅胶体抛光液、二氧化铈抛光液、氧化铝抛光液、纳米金刚石抛光液。最后指出,化学机械抛光液未来应向环保化、精细化以及专门化的方向发展。

关键词：化学机械抛光液 二氧化硅 二氧化铈 氧化铝 纳米金刚石 

单位：河南工业大学材料科学与工程学院 郑州450007