摘要：目的研究模具钢微细蚀刻中，蚀刻速率的变化规律。方法采用蚀刻液喷淋加工方式，对掩膜的模具钢表面进行蚀刻．考察掩膜间隙、蚀刻液啧淋压力、蚀刻液温度对蚀刻速率的影响。结果蚀刻速率随掩膜间隙尺寸的增大而增加，当掩膜尺寸大于150μm时，蚀刻速率增长较快；较大的喷淋压力有利于蚀刻液的更新和蚀刻产物的排除，使得蚀刻反应充分，蚀刻速率较高；温度在一定范围内升高，蚀刻液活性增大，蚀刻效率提高，蚀刻速率增大。结论最佳工艺条件为：掩膜间隙尺寸150～200μm，蚀刻液喷淋压力1．0～1．4MPa．蚀刻液温度35～40℃。在此加工条件下．模具钢的蚀刻速率高，加工效率高．同时可以保证较好的蚀刻尺寸精度。

关键词：微细蚀刻 模具钢 蚀刻速率 

单位：广东工业大学机电学院 广州510006