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电子显微镜高压直流电源技术参数

樊生文; 戴伟; 王泽庭 电子测试 2017年第10X期

摘要:随着高压直流电源技术的逐渐成熟,应用于工业、农业、航天、医疗等的领域越来越普及,对高压直流电源的技术参数的要求就越来越高,纹波大小和稳定度是影响高压直流电源质量的两个关键因素。本文设计了一台90KV/1m A的高压直流电源应用于电子显微镜以及曝光机等,现对其技术参数纹波大小和稳定度进行测量,介绍了纹波的测量方法以及影响稳定度的因素。

关键词:高压直流电源纹波稳定度

单位:北京市变频技术工程技术研究中心北京市电力节能关键技术协同创新中心北京电动车辆协同创新中心

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